微观装置的制造及其处理技术
  • MEMS元件及微型物体的操控五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种微型转移装置,其包括能够操控微型尺寸物体的微机电系统(MEMS)。微机电系统是具有移动部件的微观设备。众所周知的,微机电系统(MEMS)的使用涉及通过在膜和电极之间施加电势差来致动的柔性膜。这些柔性膜MEMS已经主要演示在诸如MEMS麦克风或MEMS超声扫描仪(例如,McMu...
  • 半导体装置封装及其制造五分时时彩方法与流程
    本发明系关于一种半导体装置封装及一种制造该半导体装置封装之五分时时彩方法,且更特定言之,系关于一种具有微机电系统(MEMS)装置之半导体装置封装及其制造五分时时彩方法。先前技术对MEMS装置(诸如,MEMS晶粒)之封装要求相较于传统IC封装要求可复杂得多。包括MEMS装置之光学传感器封装借助于实例来描述。光学...
  • 用于通孔结构的系统、五分时时彩方法及设备与流程
    本案是分案申请。本分案的母案是申请日为2012年10月17日、申请号为201280059040.2、发明名称为“用于垂直集成的堆叠式通孔”的发明专利申请案。优先权主张本申请案主张于2011年10月20日提出申请且标题为“用于垂直集成的堆叠式通孔(STACKEDVIASFORVERTICAL...
  • MEMS阵列系统和操纵物体的五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种物体转移装置,包括能够操纵物体的微机电系统(MEMS,Micro-electromechanicalSystem)元件阵列。进一步地,本发明涉及一种使用MEMS阵列将微米级物体(例如微发光二极管(microlight-emittingdiodes,μLEDs))从源基板移...
  • 分子纳米标签的制作五分时时彩方法
    本申请要求2016年10月21日提交的美国临时申请号62/411,324的权益,所述申请通过引用结合入本文。对政府支持的致谢本发明是由美国国立卫生研究院(NationalInstitutesofHealth)、美国国家癌症研究所(NationalCancerInstitute)在项目编号...
  • 用于MEMS器件的可动质量块的阻尼系统的制作五分时时彩方法
    本发明涉及具有小尺寸可动元件、特别是在微机电系统(MicroElectro-MechanicalSystems,MEMS)内作为小尺寸惯性传感器的机械系统的设计。MEMS器件的不可靠性和脆弱性的其中一个主要原因在于所述可动元件在振动事件或冲击期间与固定表面进行接触。这种接触一方面可以通...
  • 聚合物芯片的封合装置的制作五分时时彩方法
    本实用新型涉及聚合物芯片封合领域,尤其涉及聚合物芯片的封合装置。微流控芯片的常规材质包括了硅片、玻璃、PDMS、PMMA和PC等硬质聚合物芯片,微流控芯片的多数应用都需要将微流控芯片上的流路封合,形成闭合管路,方便在管路上完成生化反应等操作,现阶段PMMA等硬质聚合物芯片的封合手段包括了热...
  • MEMS设备和电子装置的制作五分时时彩方法
    本公开涉及MEMS设备和电子装置。如所知,致动器是将一种类型的物理量转换为不同类型的另一物理量的设备,并且由转换导出的量通常涉及某种形式的移动或机械作用。最近,已经提出具有微米和纳米尺寸的致动器,也分别被称为微致动器和纳致动器,其可以利用半导体技术获得,因此成本非常有限,并且属于所谓的ME...
  • 一种旋转结构及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明实施例涉及微机电系统,尤其涉及一种旋转结构及其制备五分时时彩方法。在微机电系统领域,旋转结构可以应用于自适应光学的波阵面校正、空间光调制、光学元件对准、显微操纵器、光开关、光衰减器和光学多路复用器等方面按照旋转结构的驱动方式不同,主要分为:电磁驱动、电热驱动、压电驱动和静电驱动等。电磁...
  • 一种通孔电容式微加工超声换能器及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于MEMS,具体涉及一种高发射功率、低工作电压的通孔电容式微加工超声换能器及其制备五分时时彩方法。超声技术是现代科技中应用最为广泛的技术之一。由于超声波在媒质中传播时会产生物理、化学、生物等一系列效应,具有穿透力强、集束性好以及信息携带量大等优点,因而其应用遍及工业、临床医学、生物化...
  • 一种由金属辅助的二维材料纳米带的制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于二维纳米材料,具体涉及一种由金属辅助的二维材料纳米带的制备五分时时彩方法。二维材料,是指电子仅可在两个维度的非纳米尺度(1-100nm)上自由运动(平面运动)的材料,如纳米薄膜、超晶格、量子阱,纳米材料是指材料在某一维、二维或三维方向上的尺度达到纳米尺度。纳米材料可以分为零维材料、...
  • 一种光驱磁控一体化微纳马达的制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种光驱磁控一体化微纳马达的制备五分时时彩方法,属于微纳马达。2016年诺贝尔化学奖颁给了研究世界最小机器的分子机器,这为研究微纳米尺度的微小机器推向了高潮。微纳米马达是一种能够将其他形式的能量转化为动能产生自主运动的微纳米器件。由于这种独特的性质,因此在药物输送、生物传感、微修复...
  • 一种硅纳米线的制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及微电子领域,特别是涉及一种硅纳米线的制备五分时时彩方法。硅纳米线是一种一维纳米材料,其力学、热学、光学和电学等性能相对于体硅都发生了明显变化,表现出诸如表面效应、小尺寸效应和宏观量子隧道效应等新颖的物理现象。同时因其比表面积大,外界环境的微弱变化能够引起材料本身性质的剧烈变化,采用硅纳米线...
  • 基于亲疏水阵列的单层纳米颗粒二聚体及多聚体制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种基于亲疏水阵列的单层纳米颗粒二聚体及多聚体制备五分时时彩方法,属于纳米材料制备领域。由于纳米颗粒性质的叠加以及相互之间的强耦合,纳米颗粒聚集体常常表现出优异的光电效应,因而得到广泛的研究和应用。例如,单个金属纳米颗粒在入射光的作用下,表面的自由电子会发生集体振荡,把光限制在纳米颗粒表面...
  • 基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于微电子机械系统领域,特别是涉及一种基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备五分时时彩方法。富集是一种重要的分析技术。富集器是气体分析仪器(如气相色谱仪、离子迁移谱、质谱仪)中的重要部件,常设置于仪器的前端,其主要功能是大量吸附被探测的目标气体组分,即进行富集,然后使目标气体组分在极短的时间内脱...
  • 一种硅纳米线芯片及基于硅纳米线芯片的质谱检测五分时时彩方法与流程
    本发明属于新材料和质谱检测分析五分时时彩方法,具体涉及一种硅纳米线芯片及基于硅纳米线芯片的质谱检测五分时时彩方法。生物样本的采集、预处理和检测是分析中的三个重要环节。与常规分析五分时时彩方法相比,质谱分析具有高准确性、高灵敏度、高涵量的特点,尤其适用于复杂样本中痕量分析物的定性定量分析以及多种分析物的并...
  • 一种在有机材料表面制备抗反射微纳结构的五分时时彩方法与流程
    本发明涉及微纳结构制备,具体涉及一种在有机材料表面制备抗反射微纳结构的五分时时彩方法。光学元件的抗反射是由于光学元件的折射率和空气折射率突变引起的。光学元件表面的抗反射给光学系统带来很大的不确定性,因而抗反射技术一直是光学元件领域重点关注的问题之一。目前常用的抗反射技术是抗反射膜技术,但是抗...
  • 电子设备的制作五分时时彩方法
    本发明的实施例涉及一种电子设备,特别是涉及一种包括载体和安装在载体上的电子芯片的电子设备。电子设备可以是例如包括MEMS(微机电系统)芯片的传感器设备。例如,电子设备可以是MEMS麦克风。MEMS麦克风使用微结构化的、主要基于硅的声电变换器。这些高灵敏度的传感器芯片采用薄的可移动膜,使其也...
  • 用于压力和声学感测的MEMS换能器系统的制作五分时时彩方法
    本公开一般涉及微机电系统(MEMS)设备,并且更特别地涉及用于压力和声学感测的MEMS换能器(transducer)系统。发明内容下面阐述了本文中公开的某些实施例的概述。应当理解的是,呈现这些方面仅是为了向读者提供这些某些实施例的简要概述,并且这些方面并不意图限制本公开的范围。实际上,本公开可以涵...
  • MEMS器件和自动聚焦系统的制作五分时时彩方法
    本公开涉及一种微机电(“微机电系统”,MEMS)器件,其包括膜和能够控制膜的弯曲的致动器。已知的MEMS致动器至少部分地由半导体材料制成。这种微机电致动器使得能够将不同类型的能量形式转换成机械能量。特别地,已知压电致动的MEMS器件,其中压电材料的薄层在MEMS器件的悬置部分例如悬臂或膜上...
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