微观装置的制造及其处理技术
  • 一种纳米结构的制造五分时时彩方法与流程
    本申请涉及纳米,特别涉及一种纳米结构的制造五分时时彩方法。随着科学技术的不断发展,电子科学、光子科学、光电科学、生物科学等领域都对纳米结构的加工技术提出了更高的要求,需要提供一种更加可靠、更加快速、更低成本的纳米加工技术。现有技术中,通常采用表面化学改性的五分时时彩方法制造纳米结构。具体来说,首先可以...
  • 一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备五分时时彩方法,属于微纳马达。2016年诺贝尔化学奖颁给了研究世界最小机器的分子机器,这为研究微纳米尺度的微小机器推向了高潮。微纳米马达是一种能够将其他形式的能量转化为动能产生自主运动的微纳米器件。由于这种独特的性质,因此在药物输送、生物传感、微...
  • 一种纳米压入仪用低温装置的制作五分时时彩方法
    本发明涉及纳米力学测试领域,具体为应用在纳米压入仪中的一种低温装置及其使用五分时时彩方法。随着科技的快速发展,越来越多的先进精密系统应用于低温领域。工作环境的变化通常也会造成材料性能及可靠性的改变,因此,探究材料在低温服役环境中的机械性能变化具有重要的实际意义。仪器化纳米压入技术作为一种主要获取材料...
  • 一种具有微纳结构增强的微加热器及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及MEMS传感器制造领域,更具体地涉及一种具有微纳结构增强的微加热器及其制备五分时时彩方法。随着微加工技术的不断发展,基于MEMS工艺的微型加热器已开始在气体探测,环境监控和红外光源等领域广泛应用。但是,由于探测器应用环境的多样性以及复杂性,人们对微型加热器的低功耗、低成本、高性能、高可靠的...
  • 一种电镀形成微细结构的五分时时彩方法、微细结构以及电子器件与流程
    本申请涉及半导体,尤其涉及一种在基板上电镀形成微细结构的五分时时彩方法,微细结构以及电子器件。随着电子器件小型化、高速化和多功能化需求的增强,对构成电子器件的微细结构的微细化、复杂化的需求也在日益增强。特别是把半导体微电路同微机械集成起来,达到功能多样化的微机电系统(MEMS:MicroM...
  • 一种精简工艺的微镜芯片及制造五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种精简工艺的微镜芯片及制造五分时时彩方法,属于微机电系统。常用的微机电系统驱动结构包括静电驱动被广泛应用,其中静电驱动主要采用梳齿结构,梳齿结构一般分为两类,一类是面内梳齿结构,用作面内结构驱动;一类是上下梳齿结构,用作面外驱动,面外驱动的动齿和固齿一高一低不在一个平面。上下梳齿...
  • 一种脲酶驱动罐状微纳米马达及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及微纳米器件制备,尤其涉及一种驱动力较强且可以通过感应燃料浓度变化调整其运动方向的脲酶驱动罐状微纳米马达。微纳米马达是一种能够在微纳米尺度上将环境中其它形式的能量转化为机械运动,并能执行各种任务的微纳米器件。由于微纳米马达具有独特的自主运动性能,可以在微纳米尺度装载、运输和...
  • 微机电系统装置中的传感器功率斜变的制作五分时时彩方法
    本申请要求2016年12月5日提交的美国临时申请第62/430,092号的权益和优先权,其全部内容以引用的方式并入本文。提供以下描述是为了帮助读者理解。所提供的信息均不被视为是现有技术。当构建高性能、高密度装置(诸如,手机、数码静态相机、便携式音乐播放器和其它便携式电子装置)时需要紧凑型部...
  • 一种MEMS的深硅刻蚀五分时时彩方法与流程
    本发明涉及深硅刻蚀,尤其涉及一种MEMS的深硅刻蚀五分时时彩方法。微电子机械系统(Micro-electromechanicalSystems)是把信息传感,处理,机械执行以及其他一些微器件,按照集成电路的制造原则,以高密度,低成本的方式集成在一个微系统中。MEMS中学科交叉现象及其明显,...
  • 玻璃与晶体交替排列的自组织周期性微纳结构的制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及超快激光微纳加工,特别涉及一种玻璃与晶体交替排列的自组织周期性微纳结构的制备五分时时彩方法。超快激光微纳加工技术是一种利用脉宽极小,峰值能量极高的激光脉冲进行精密微纳加工的先进制造技术。该技术主要通过强场激光与物质的相互作用,诱发一系列物理化学反应,同时利用材料对超快脉冲的非线性吸...
  • 一种电场辅助原子力显微镜纳米刻蚀五分时时彩方法与流程
    本发明涉及纳米加工领域,具体的说是一种通过在原子力显微镜(AFM)探针和基底之间施加电流,并使探针针尖在基底表面运动,通过焦耳热形成纳米刻痕,从而实现纳米刻蚀、裁剪加工的五分时时彩方法。纳米器件是由纳米材料构成的电子器件,比如各种气体传感器,生物传感器,场效应晶体管等等。纳米器件具有优异的性能,比如...
  • 一种MEMS开关及其制作五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种MEMS开关及其制作五分时时彩方法,属于微机电系统。射频MEMS开关在通信、测试仪器、雷达等领域有着广泛的应用。但传统射频MEMS开关较低的功率容量、以及较差的可靠性是限制其应用的主要瓶颈之一。传统的串联接触式射频MEMS开关通常由金属悬臂梁、驱动电极、接触点和微波信号线四部分...
  • 纳米颗粒调配物的制作五分时时彩方法
    本申请要求2016年12月2日提交的美国临时申请序列号62/429,466的优先权,其内容通过引用整体并入本文。多肽的四级结构可以极大地影响它们的物理化学和生物学特性。蛋白质聚集或非天然聚集是指蛋白质分子组装成由两种或两种以上蛋白质构成的稳定复合物的过程,其中单个蛋白质表示为单体。聚集体通...
  • 用于制造具有与载体机械脱耦的区域的衬底的五分时时彩方法,用于制造至少一个弹簧和衬底的五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种用于制造具有与载体机械脱耦的区域的衬底的五分时时彩方法、一种用于制造至少一个弹簧的五分时时彩方法以及一种具有机械脱耦区域的衬底。在微机械压力传感器中作为机电换能器使用的半导体元件不仅接收直接通过作用到膜片上的压力影响而产生的机械应力,而且同样接收通过来自周围环境的机械干扰影响所引起的应力。这种干...
  • 纳米碳高温烯膜的制作五分时时彩方法
    本实用新型涉及,尤其涉及一种纳米碳高温烯膜。大多数的电子器件,导热能力强,但不够柔韧。比如有些无机陶瓷晶体材料,导热率非常高,但却脆弱得很,烯膜把大片石墨烯交错垒叠起来,制作成宏观石墨烯膜,可实现高导热率;然后给石墨烯膜加入微褶皱结构,使材料在拉伸弯折时有足够的拉伸空间,就可确保高柔性,目...
  • MEMS传感器及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及半导体制造领域,特别涉及一种MEMS传感器及其制备五分时时彩方法。MEMS传感器已经被应用于各个领域当中,由于工作环境的需要,MEMS传感器必须采用一种有效的封装结构和封装五分时时彩方法,传统的封装类型主要是芯片级封装,通常是将一个裸芯片放入陶瓷管壳中,通过金丝焊球与管脚相连,其上的盖板由焊料或陶瓷...
  • 本发明涉及一种微流控芯片的键合五分时时彩方法,特别是涉及一种有机聚合物材质的微流控芯片的键合五分时时彩方法,属于微流控芯片领域。微流控芯片又称微流控芯片实验室,通过微加工及其它加工五分时时彩方法将一个生物或化学实验室微缩到一块只有几平方厘米的芯片上。该芯片可以将化学和生物领域中所涉及的样品制备、反应、分离、检测...
  • 一种基于微悬臂转移的微球探针制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于微纳米制造,特别涉及一种基于微悬臂转移的微球探针制备五分时时彩方法。随着微纳尺寸部件在MEMS、IC、光学器件等各领域的广泛应用,微纳加工五分时时彩方法技术在获得长足发展的同时也面临着巨大挑战。开展微纳尺度加工五分时时彩方法的研究,无论对于先进制造技术的发展,还是对于我国在新一轮科技竞争中保持有利地位...
  • 一种低成本高一致性压力传感器芯片制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及MEMS传感器领域,具体涉及一种低成本高一致性压力传感器芯片制备五分时时彩方法。MEMS压力传感器芯片的传统制备五分时时彩方法是通过KOH、TMAH等碱性溶液腐蚀背腔100,达到指定深度后停止腐蚀,得到的硅薄膜作为敏感膜200(如图1所示)。这种制备五分时时彩方法存在一些缺陷,如:由于碱液腐蚀的平整度直接决定...
  • 一种可视化半导体光电化学微加工装置及五分时时彩方法与流程
    本发明涉及光电化微加工,更具体地说涉及一种可视化半导体光电化学微加工装置及五分时时彩方法。随着微电子技术的高速发展,驱动了器件不断向小型化、微型化和集成化的方向发展。微细加工技术是微机电系统(MEMS)的基础,也是微机电系统的核心和研究热点。利用电化学五分时时彩方法进行三维微/纳米尺度的刻蚀加工是最有...
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