微观装置的制造及其处理技术
  • 二级位移放大的XYθ三自由度柔顺精密定位平台的制作五分时时彩方法
    本发明涉及微纳操作、精密定位,尤其涉及一种二级位移放大的XYθ三自由度柔顺精密定位平台。随着机械精密领域、微观生物领域的发展,微纳米测量与表征已经成为学者研究的焦点,微纳米技术因此得到迅速的发展,微纳米精度级别装置的用途越来越广泛。现有的三自由度微纳米精密定位平台多用压电陶瓷作为驱...
  • 一种MEMS器件及其制作五分时时彩方法与流程
    本发明涉及半导体领域,尤其涉及一种MEMS器件及其制作五分时时彩方法。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口以及通信于一体的微型器件或系统。微机电器件是在微...
  • 接合结构的制作五分时时彩方法
    大体上关于接合结构,且详言之,是关于提供两个组件(例如,两个半导体组件)之间的经改良密封性的接合结构。在半导体装置制造及封装中,一些积体装置经密封以与外部环境隔绝,以便例如减少污染或防止对积体装置损害。举例而言,一些微机电系统(microelectromechanicalsyst...
  • 具有振荡件的微机械构件、用于该微机械构件的制造五分时时彩方法和用于激发可调节部件围绕旋转轴线的运动的五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种微机械构件。本发明也涉及一种用于微机械构件的制造五分时时彩方法。此外,本发明涉及一种用于激发可调节部件围绕旋转轴线的运动的五分时时彩方法。DE102012219591A1中说明了一种微机械构件,其具有通过至少一个弹簧与保持件连接的可调节部件。另外,所述微机械构件包括至少一个作用在所述至...
  • 一种散热封装结构的制作五分时时彩方法
    本实用新型涉及集成电路封装,尤其涉及一种散热封装结构。数字化及网络资讯的发展,对微电子器件性能和速度的需求越来越高,使得对具有多功能轻便型及高性能电子器件的技术需求越来越迫切。随着摩尔定律极限挑战,目前IC设计也正朝着系统芯片(SOC,SystemOnChip)及系统级封装(S...
  • 一种基于扇出型封装结构的混合封装系统的制作五分时时彩方法
    本实用新型的实施例涉及半导体封装技术。具体而言,本实用新型涉及一种基于扇出型封装结构的混合封装系统。随着电子产品多功能化和小型化的潮流,高密度微电子组装技术在新一代电子产品上逐渐成为主流。为了配合新一代电子产品的发展,尤其是智能手机、掌上电脑、超级本等产品的发展,芯片的尺寸向密度更高、速度...
  • 微电极膜片的制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及生物电极,具体地,涉及一种微电极膜片的制备五分时时彩方法。微电极膜片一般包括基底和设置在基底上的微电极,微电极是一种微型化电极,其为至少在一维尺度上不大于200μm的电极。微电极由于尺寸小而具有一些常规电极无法比拟的性质,如具有电流密度高、响应速度快、信噪比高等特点。因此,其越来越...
  • 在衬底材料的钝化层上形成三维图形结构的五分时时彩方法与流程
    本发明涉及衬底材料的钝化层上的图形加工五分时时彩方法,具体是在衬底材料上钝化层上形成三维图形结构的五分时时彩方法。随着微电子工艺的快速发展,器件的小型化发展的难度也日益增大。由于三维纳米结构的广泛应用,故三维器件的构造也成为提高器件集成度的一个重要途径。目前,常见的制备三维结构的五分时时彩方法主要有双光子干涉曝光工艺、...
  • 一种悬空的黑介质薄膜及其制备五分时时彩方法以及应用与流程
    本发明涉及MEMS传感器薄膜制造领域,更具体地涉及一种悬空的黑介质薄膜及其制备五分时时彩方法以及应用。MEMS传感器领域中,关于热传递和光吸收问题是两个重要问题。在气体传感器领域中,基于有机或无机气体敏感材料涂覆的MEMS传感器是当今主流器件,但是这些材料需要至少260摄氏度的温度才会有强的响应,除...
  • 一种三维微纳折纸结构的制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及微纳米与三维器件领域,特别是涉及一种三维微纳折纸结构的制备五分时时彩方法。随着微电子技术的不断发展,三维弯曲结构的应用逐渐广泛。相比于二维微纳结构,三维结构具有更高的可控自由度,以及更小的体积等优势。例如在隐身超材料以及负折射率超材料的设计中,都需要三维结构进行制备。而且三维超材料...
  • 一种用于MEMS器件的封装应力隔离微结构的制作五分时时彩方法
    本发明涉及一种用于MEMS器件的封装应力隔离微结构,属于MEMS封装及微机械制造领域。MEMS(微机电系统,MicroelectroMechanicalSystems)是一门跨学科的简短,涉及到微电子,机械,光学,生物,材料,物理,化学,信号处理等多种学科。基于MEMS技术的M...
  • 温度传感器、电极与温度敏感膜的连接结构及制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及的是深低温温度传感器,尤其涉及的是一种电阻式深低温温度传感器中电极与温度敏感膜的连接结构及其制备五分时时彩方法。低温测量广泛用在航空航天、生物医疗、超导电子学、高能物理、能源等尖端科技领域,其中电阻式深低温温度传感器在低温测量中占有重要的地位。由于电阻式深低温温度传感器根据敏感膜的...
  • 肖特基传感器系统的制作五分时时彩方法
    本公开属于传感,具体是涉及一种利用摩擦纳米发电机增强肖特基传感器高灵敏度的肖特基传感器系统。传感技术、通信技术和计算机技术构成了信息技术的三大支柱,是现代信息系统和各种装备不可缺少的信息收集手段,对提高经济效益、科学研究与生产技术的水平有着举足轻重的作用。特别是物联网(Intern...
  • 多官能化硅纳米颗粒、其制备五分时时彩方法及其在基于电化学发光的检测五分时时彩方法中的用途与流程
    本发明涉及新型多官能化硅纳米颗粒、其制备五分时时彩方法及包含该新型多官能化硅纳米颗粒的组合物。本发明还涉及该新型多官能化硅纳米颗粒在基于电化学发光的检测五分时时彩方法和被分析物的体外检测中的用途。特别地,本发明涉及通过使用该新型多官能化硅纳米颗粒的体外五分时时彩方法测量被分析物的五分时时彩方法。发明背景硅纳米颗粒具有高比表面积,提供高载...
  • 用于反射和透射纳米光子器件的高吞吐量、高分辨率光学计量的制作五分时时彩方法
    本申请要求于2016年10月26日提交的美国临时专利申请序列号62/413,291的权益,该专利申请的公开内容通过引用明确地并入本文。关于联邦政府资助研究的声明本发明是在国家科学基金会授予的授权号ECCS1120823和EEC1160494下借助政府支持做出的。政府拥有本发明的某些权利。本...
  • 本申请要求于2016年12月12日提交的第62/432,810号美国临时申请的权益。上述申请的全部教导通过引用并入本文。当将某些羧基化颗粒,例如羧基化聚苯乙烯颗粒、羧基化聚(乳酸-羟基乙酸)共聚物(PLGA)颗粒或羧基化金刚石颗粒施用于个体时,可以改善某些病症,例如病理性炎症免疫应答(参见...
  • 陶瓷锂离子固体电解质的反应性烧结的制作五分时时彩方法
    相关申请交叉参考本申请根据35U.S.C.§120要求2011年11月29日提交的美国申请序列13/306,011号的优先权,本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。背景本发明总体涉及形成陶瓷锂离子固体电解质,具体来说,涉及用于形成致密、气密电解质膜的反应性烧结五分时时彩方法。固体电解质也称为快速离子...
  • 背孔引线式压力传感器及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及微电子机械系统及压力传感器领域,尤其涉及一种背孔引线式压力传感器及其制备五分时时彩方法。随着微机电系统技术的发展,压力传感器的制造已经成为一项较为成熟的技术。压力传感器可分为压阻式、电容式、压电式等,其中压阻式压力传感器由于具有体积小、灵敏度高、线性度好等优点,被应用于航空、航海、石油化工...
  • 一种高深宽比倒锥型结构制造五分时时彩方法与流程
    本发明涉及精密制造加工,更具体的,涉及一种高深宽比倒锥型结构制造五分时时彩方法。随着微机电系统MEMS的发展,对微结构所提出的要求也越来越高,高深宽比微细结构(highaspectratiomicrostructure,HARMS)就是其中的关键之一。高深宽比微细结构通常指深宽比在10...
  • MEMS桥梁结构的制造五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种半导体集成电路,特别是涉及一种MEMS桥梁结构的制造五分时时彩方法。MEMS器件在半导体行业中被广泛关注,尤其是在传感器方面应用广泛。MEMS器件中的电极的形成工艺时现有MEMS器件中的重要工艺步骤,MEMS电极有着极其重要的作用。在现有工艺中,采用非晶硅作为MEMS器件的电极中的主要...
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