微观装置的制造及其处理技术
  • 一种高厚宽比微纳结构的制造五分时时彩方法及装置与流程
    本发明涉及柔性电子制造邻域,具体涉及是一种高厚宽比微纳结构的制造五分时时彩方法与装置。随着科技的发展,对精细化装备的需求越来越强,柔性电子技术在微纳处理方面有着广阔的应用前景,特别是在传感器、柔性显示器、智能皮肤等领域有着广泛的需求。而如今,在纳米压印、光刻、喷墨打印等技术中的表面处理中,高厚宽比的...
  • 一种星型单刀四掷射频开关的制作五分时时彩方法
    本发明属于射频MEMS领域,具体涉及一种星型单刀四掷射频开关。射频MEMS开关作为一种无源器件,是射频系统的基本组件之一,通过微机械结构的运动,来控制射频信号的导通与断开。与传统固态电子器件相比,具有插损小、功耗低、体积小、成本低等非常卓越的优点。它可以广泛应用在各种射频、微波和毫米波通讯...
  • MEMS感知器结构及其制造五分时时彩方法与流程
    本发明涉及半导体集成电路制造领域,特别是涉及一种MEMS感知器结构。本发明还涉及一种MEMS感知器结构的制造五分时时彩方法。非晶硅是硅的同素异形体形式,能够以薄膜形式沉积在各种基板上,为各种电子应用提供某些独特的功能。非晶硅被用在大规模生产的微机电系统(MEMS)和纳米机电系统(NEMS)、太阳能电...
  • 传感器封装件及其制作五分时时彩方法与流程
    本发明有关一种传感器封装件,更特别有关一种将传感器设置于微机电系统致动器的可动平台的具有可动式传感器的封装件及其制作五分时时彩方法。微机电系统(MEMS)是通过蚀刻硅晶圆而形成的微机械结构,并可用作为将电信号转换为机械运动的微机电系统致动器(MEMSactuator),用于控制极细微的动作。在包含...
  • 在平面中可移动的、具有压电驱动的微机电微操纵装置的制作五分时时彩方法
    本公开涉及一种在平面中可移动的、具有压电驱动的微机电操纵装置。微操纵装置是已知的。它们可以在接触或者非接触模式下操作,并且基于各种物理原理,例如,是光学类型、静电类型、流体静力类型(基于伯努利定理)、超声类型和/或磁性类型。每种类型都具有在特定条件下实现其有利用途而在其它条件下无法实现其有...
  • 用于加工衬底材料的钝化层的探针的制作五分时时彩方法
    本发明涉及衬底材料的钝化层上的图形加工,具体是用于加工衬底材料上钝化层的探针。随着微电子工艺的快速发展,器件的小型化发展的难度也日益增大。由于三维纳米结构的广泛应用,故三维器件的构造也成为提高器件集成度的一个重要途径。目前,常见的制备三维结构的五分时时彩方法主要有双光子干涉曝光工艺、激光干涉曝光工艺...
  • 用于加工衬底材料的钝化层的探针的制作五分时时彩方法
    本发明涉及衬底材料的钝化层上的图形加工,具体是用于在衬底材料上钝化层上形成三维图形结构的探针。本发明涉及衬底材料的钝化层上的图形加工,具体是用于加工衬底材料上钝化层的探针。随着微电子工艺的快速发展,器件的小型化发展的难度也日益增大。由于三维纳米结构的广泛应用,故三维器件的构造也成为提高器件...
  • 芯片内置电路板、组合传感器及电子设备的制作五分时时彩方法
    本实用新型涉及传感器,特别涉及一种芯片内置电路板、应用该芯片内置电路板的组合传感器及应用该组合传感器的电子设备。传感器作为检测器件,已普遍应用在手机、笔记本电脑、平板电脑以及穿戴设备之中。近年来,随着科技的快速发展,微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanic...
  • 一种半导体纳米线传感器的制作五分时时彩方法
    本发明属于半导体纳米线器件,特别涉及一种基于桥接生长的纳米线器件。纳米技术被认为是21世纪的三大科学技术之一。其中,纳米线由于其独特的一维量子结构,被认为是纳电子器件的基本结构之一。尽管纳米线具有重要的应用前景,但是制备纳米线器件需要对极其纤细的纳米线进行操控、组装和加工。目...
  • 一种MEMS加速器件的通孔刻蚀五分时时彩方法与流程
    本发明涉及半导体制造领域,特别是涉及一种MEMS加速器件的通孔刻蚀五分时时彩方法。对于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)加速器件来说,在其制造过程中,对于大面积刻蚀率的硅片,整个硅片上绝大多数面积都被进行了通孔的等离子体刻蚀,刻蚀通孔(VIA)的过...
  • 用于制造薄层和具有薄层的微系统的五分时时彩方法与流程
    实施例涉及用于制造薄层的五分时时彩方法。另外的实施例涉及用于制造具有薄层的微系统的五分时时彩方法。一些实施例涉及用于通过高/低力区域来零力剥离较薄器件的五分时时彩方法。使用标准工具无法处理厚度小于100μm的晶片。因此,这些晶片被安装在载体晶片上。业界已经开发了用于处理薄晶片的整个工艺链。然而,标准薄晶片处理步骤可能损...
  • MEMS器件及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及半导体,具体涉及一种MEMS器件及其制备五分时时彩方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)技术是指一种可将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统,它用微电子技术和微加工技术(如硅体微加工、硅表面微加工、晶片...
  • MEMS器件及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明涉及半导体,具体涉及一种MEMS器件及其制备五分时时彩方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)技术是指一种可将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统,它用微电子技术和微加工技术(如硅体微加工、硅表面微加工、晶片...
  • 一种新型压电式压力传感器及其制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于半导体氧化物压电式压力传感器,具体涉及一种基于InSe-FET的ZnO压电式压力传感器及其制备五分时时彩方法。ZnO是经典的宽禁带II-VI半导体,它具有许多优良的性能,其中一种六边形晶型的ZnO由于晶格结构的不对称性而具有压电性能。同时,ZnO纳米材料的制备技术具有低成本的特点,...
  • 一种花粉结构微粒及其制备五分时时彩方法和用途与流程
    本发明涉及一种分析检测的生物功能材料及其制造五分时时彩方法,特别涉及用来捕获循环肿瘤细胞的生物功能材料及其制造五分时时彩方法和用途。具体地,本发明涉及一种用于捕获循环肿瘤细胞的花粉结构微粒及其制备五分时时彩方法和用途。癌症是目前威胁人类健康最严重的疾病之一,而肿瘤的侵袭和转移是癌症患者临床致死的主要原因。循环肿...
  • 一种微电极及其形成五分时时彩方法与流程
    本申请涉及半导体领域,特别是涉及一种微电极及其形成五分时时彩方法。微电极是现代电化学学科的重要分支之一,在痕量检测、单细胞检测、生物传感中具有很高的优越性。微电极具有较小的尺寸,可用于微观物质的探索,或者神经递质信息的实时监测。其中的微电极的尺寸可达微米级甚至纳米级,因此具有较高的电流密度、低的时间...
  • 基于立体桥式机构的大行程高精度的单自由度微定位平台的制作五分时时彩方法
    本发明涉及微定位平台,特别涉及一种基于立体桥式机构的大行程高精度的单自由度微定位平台。随着科技发展,微纳技术得到了广阔应用。但是,高精度的微定位平台一直制约着微纳技术的推广。目前,小行程的微定位平台已获得了重大突破,但是,高精度、大行程的微定位平台还需要进一步提高。发明内容本发明的目的是克...
  • 一种用于保护MEMS器件敏感结构的划片五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种MEMS器件划片五分时时彩方法,尤其涉及一种用于保护MEMS器件敏感结构的划片五分时时彩方法。随着IC与MEMS工业的发展,划片技术得以极大的进步,MEMS器件制造过程中,需要通过划片将晶圆切分,从而获得需要的单个MEMS器件,常见的晶圆划片五分时时彩方法有切割刀划片和激光划片,但划片过程中通常会产生硅屑...
  • 一种MEMS红外传感器的封装结构的制作五分时时彩方法
    本发明涉及MEMS红外传感器的封装结构。目前MEMS(微机电系统,Micro-Electro-MechanicalSystem)红外传感器,如MEMS热释电传感器、MEMS热电堆传感器等,大都基于TO(TransistorOutline,晶体管外形)封装方式,而TO封装方式不兼容目前P...
  • 用于静摩擦补偿的磁性纳米机械器件的制作五分时时彩方法
    本发明的实施例涉及磁性器件的领域,并且具体而言涉及用于静摩擦补偿的纳米机电器件。对于过去的几十年,集成电路中特征的缩放已经成为不断增长的半导体产业背后的驱动力。缩放到越来越小的特征实现了功能单元在半导体芯片的有限基板面上的密度增大。例如,缩小的晶体管尺寸允许在芯片上并入的存储器器件数量增大...
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